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洁净间级数( Class) 微粒 压力 温度℃ 湿度 风速与换气率
(次/hr)
照度lux
微粒大小
(um)
微粒数目
( Particles/ft3 )
pa 值域 推荐值 误差值
Max%

Min%
误差%
1 ≥0.5 ≤1 >20 20~25 23 ±1
(特殊需求±0.5 )
48 38 ±5(特殊
需求+3)
层流方式
0.25m/s-0.45
m/s+20%
(气流8°以下)
黄光: 600
白光: 750
≥5.0 0
10 ≥0.5 ≤10
≥5.0 0
100 ≥0.5 ≤100
≥5.0 ≤1
1000 ≥0.5 ≤1000 乱流方式≥20
次/小时
≥5.0 ≤10
10000 ≥0.5 ≤10000
≥5.0 ≤65
100000 ≥0.5 ≤10000
≥5.0 ≤700



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(次/hr)
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微粒数目
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Max%

Min%
误差%
1 ≥0.5 ≤1 >20 20~25 23 ±1
(特殊需求±0.5 )
48 38 ±5(特殊
需求+3)
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m/s+20%
(气流8°以下)
黄光: 600
白光: 750
≥5.0 0
10 ≥0.5 ≤10
≥5.0 0
100 ≥0.5 ≤100
≥5.0 ≤1
1000 ≥0.5 ≤1000 乱流方式≥20
次/小时
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